加工品・その他
バブリングシート
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- 洗浄治具
- ROHS対応
概要
ふっ素樹脂PTFE製の気泡発生ユニットです。多孔質状のPTFEシートに空気を送ることで、泡を発生させることができます。
用途
・半導体製造工程におけるウエハーの洗浄
・炭酸ガス・塩素ガス等の吸収反応工程
・薬液の撹拌
最高使用温度
+100°C
耐薬品性表のダウンロード
製品仕様
| 最大厚み(mm) | 最大幅(mm) | 最大長さ(mm) |
|---|---|---|
| 20 | 180 | 380 |
製品性能
| 気泡径 (µm) |
開孔率 (%) |
引張り強さ (MPa) |
伸び (%) |
硬度 (HDD) |
表面祖度 (Rmax) |
|---|---|---|---|---|---|
| 2 | 34 | 6.0 | 40 | 46 | 27 |
